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VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik,"Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung München, 19. und 20. Oktober 1994",,VDI-Verlag,1994,VDI-Berichte,,3180911727,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795811272960