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VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik,"Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 8. November 1990 : Tagungsbericht",,VDI-Verlag,1990,VDI-Berichte,,318090870X,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795848100096