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"佐藤, 淳一",よくわかる最新半導体ナノプロセスの基本と仕組み : 先端テクノロジーの行方を追う : ナノ技術の世界,,秀和システム,2012,How-nual図解入門,,9784798033334,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795866172544