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"中村, 守孝 and 橋本, 浩一 and 森, 治久 and 小柳, 光正 and Aum, Paul",半導体プロセスにおけるチャージング・ダメージ,,リアライズ・アドバンストテクノロジ,2006,Basic selection,,489808074X,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795872628480