著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL
"半導体基盤技術研究会 and 大見, 忠弘 and 新田, 雄久",シリコンの科学,,リアライズ社,1996,Surface science technology series,,4947655887,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795912130944