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"佐藤, 淳一",よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み : シリコンから半導体をつくり出す! : 微細化の極致,第3版,秀和システム,2017,How-nual図解入門,,9784798053530,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795939798528