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"大見, 忠弘",二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発,,[大見忠弘],1990,科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795952312576