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"西野, 茂弘",チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長,,[西野茂弘],2003,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796034522496