著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL
"Pertsch, Peter","Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule ""Elektronenlithografie"" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981",,Friedrich-Schiller-Universität Jena,1982,Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796126172544