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"堀池, 靖浩",高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製,,[堀池靖浩],1997,科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796162491520