著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "深津, 晋",よくわかる最新薄膜の基本と仕組み : 基礎から学ぶ薄膜の歴史、技術、知識 : 薄膜の常識,,秀和システム,2011,How-nual図解入門,,9784798028446,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796198649472