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"田坂, 明政",NF[3]プラズマアシスト反応およびNF[3]熱化学反応によるSiCのフッ素化,,[田坂明政],2001,科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796210239616