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"豊田, 浩孝 and 菅井, 秀郎 and 中村, 圭二",新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御,,[出版者不明],1997,科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796269672448