著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL
,21世紀の半導体デバイスを支えるマテリアル・プロセス技術,,総合研究奨励会,1999,材料研究セミナー : Proceedings,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796387313536