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"並木, 章","超音速分子線,ラジカル原子線を用いたシリコン表面プロセスの新方式",,[九州工業大学],1998,科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796403216128