著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL
"井上, 知泰 and 犬塚, 直夫 and 伊藤, 糾次",薄膜のプロセッシング,,早稲田大学出版部,1990,エレクトロニクスと材料,,4657909363,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796433377792