著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL 日経BP社,超クリーン化技術 : PPtへの挑戦,,日経BP社,1988,別冊日経マイクロデバイス,,482221303X,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796461565312