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"吉川, 公麿",ナノポーラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御,,広島大学ナノデバイス・システム研究センター,2002,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796686819712