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"宝沢, 光紀",化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける微粒子ダイナミクスの解明,,[宝沢光紀],2002,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796816296192