著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "佐藤, 徳芳",プラズマプロセス用大面積プラズマの生成,,[佐藤徳芳],1996,科学研究費補助金(国際学術研究)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796937714304