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"本多, 卓也",矩形波反応ガス流を用いた反応性スパッターによる薄膜作製,,[本多卓也],1999,科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000797089463296