ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発

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Bibliographic Information

Title
"ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発"
Statement of Responsibility
足立幸志研究代表
Publisher
  • [足立幸志]
Publication Year
  • 2005.5
Book size
30cm
Other Title
  • ナノメートル イチギメ ノタメノ マサツ クドウ キコウ ト インテリジェント リニア ガイド ノ カイハツ
  • 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号15360078)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797152542976
  • NII Book ID
    BB10636308
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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