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"渡辺, 誠",極紫外域(60nm～20nm)における高反射率多層膜鏡の開発,,[渡辺誠],1997,科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000797235868032