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"松村, 英樹",薄膜パターン・マスクを用いない新しいX線縮小転写露光装置の試作,,[松村英樹],1987,科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000797237290368