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"厨川, 常元",マイクロアイスジェットの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用,,[厨川常元],2001,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000797395978752