著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "蒲生, 健次",半導体イオン注入技術,,産業図書,1986,集積回路プロセス技術シリーズ,,4782856245,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000797499981696