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"中山, 弘",触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術,普及版,シーエムシー出版,2013,CMCテクニカルライブラリー,,9784781307404,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000797602897792