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"辻, 輝生",新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御,,[九州工業大学],2005,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000797621083520