著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik,"Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik : Kongreß Chemnitz, 16. bis 18. Mai 1992 : Kongressbericht",,VDI-Verlag,1992,VDI-Berichte,,"3180909609,3180909609",,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000797876044544