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"松浦, 孝",垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エッチング技術の開発,,[松浦孝],1997,科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000797881111552