著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL
"半導体基盤技術研究会 and 大見, 忠弘 and 新田, 雄久",SOIの科学,,リアライズ社,2000,Surface science technology series,,4898080227,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000798220556288