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VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung,"Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik : Tagung Stuttgart, 27. und 28. September 1993",,VDI Verlag,1994,VDI-Berichte,,318091095X,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000798245281408