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"松浦, 孝",Si原子層エッチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究,,[松浦孝],1996,科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000798252542976