書誌事項
- タイトル
- "Lithography process control"
- 責任表示
- Harry J. Levinson
- 出版者
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- SPIE Optical Engineering Press
- 出版年月
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- c1999
- 書籍サイズ
- 26 cm
- シリーズ名/番号
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- softcover
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注記
Includes bibliographical references (p. 169-188) and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268732662784
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- NII書誌ID
- BA42457924
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- ISBN
- 0819430528
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- LCCN
- 98044433
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/98044433
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC21: 621.3815/2
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books