書誌事項
- タイトル
- "Prozeßtechnologie : Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen"
- 責任表示
- G. Schumicki, P. Seegebrecht ; unter Mitarbeit von N. Bündgens ... [et al.]
- 出版者
-
- Springer-Verlag
- 出版年月
-
- c1991
- 書籍サイズ
- 25 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references (p. [469]-488)
Includes index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282268946851584
-
- NII書誌ID
- BA19107025
-
- ISBN
- 3540176705
-
- LCCN
- 91161725
-
- Web Site
- https://lccn.loc.gov/91161725
-
- 本文言語コード
- de
-
- 出版国コード
- gw
-
- タイトル言語コード
- de
-
- 出版地
-
- Berlin ; New York
-
- 分類
-
- LCC: TK7871.99.M44
- DC20: 621.381/52
-
- データソース種別
-
- CiNii Books