著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL
"Schumicki, G. (Günter) and Seegebrecht, P. (Peter)",Prozeßtechnologie : Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen,,Springer-Verlag,1991,Mikroelektronik,,3540176705,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282268946851584