Prozeßtechnologie : Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
Bibliographic Information
- Title
- "Prozeßtechnologie : Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen"
- Statement of Responsibility
- G. Schumicki, P. Seegebrecht ; unter Mitarbeit von N. Bündgens ... [et al.]
- Publisher
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- Springer-Verlag
- Publication Year
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- c1991
- Book size
- 25 cm
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Notes
Includes bibliographical references (p. [469]-488)
Includes index
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268946851584
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- NII Book ID
- BA19107025
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- ISBN
- 3540176705
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- LCCN
- 91161725
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/91161725
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- Text Lang
- de
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- Country Code
- gw
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- Title Language Code
- de
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- Place of Publication
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- Berlin ; New York
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- Classification
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- LCC: TK7871.99.M44
- DC20: 621.381/52
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- Subject
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- Data Source
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- CiNii Books