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VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik,"Werkstoffe der Mikrotechnik : Basis für neue Produkte : Tagung Karlsruhe, 24. und 25. Oktober 1991 : Tagungsbericht",,VDI-Verlag,1991,VDI-Berichte,,3180909331,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269005867392