著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "佐藤, 淳一",よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み : プロセスの全体を俯瞰する : あなたの知らない半導体の秘密がわかる,第2版,秀和システム,2013,How-nual図解入門,,9784798037615,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269054620672