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"平山, 昌樹",マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究,,[平山昌樹],2000,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269094166016