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"石田, 誠",電子ビーム描画法を用いたin-situシリコン選択エピタキシャルSOI構造の研究,,石田誠,1993,科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269106188800