著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik,"Mikrotechnik '89 : Tagung Düsseldorf, 19. und 20. Juni 1989",,VDI-Verlag,1989,VDI-Berichte,,3180907770,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269194200320