著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL 東レリサーチセンター調査研究部門,最先端スーパー洗浄技術 : エレクトロニクスの最新精密洗浄技術,,東レリサーチセンター,2007,TRC R&D library,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269247245056