Author,Title,Edition,Publisher,Year,Series,Number,ISBN,ISSN,URL
"岩松, 誠一",ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現,初版第2刷,工業調査会,1994,K books,,4769311028,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269415740800