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科学技術庁無機材質研究所,逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究,,科学技術庁無機材質研究所,1995,無機材質研究所研究報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269524220800