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日本機械工業連合会 and マイクロマシンセンター,マイクロマシン技術の経済効果(技術予測)に関する調査研究報告書,,日本機械工業連合会 : マイクロマシンセンター,1994,日機連,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269534770304