著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL
"Elwenspoek, M. and Wiegerink, R.",Mechanical microsensors,,Springer-Verlag,2001,Microtechnology and MEMS,,3540675825,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269621806848