著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "滝本, 昭",化学気相成長法による薄膜製造の高効率化,,[滝本昭],1993,科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282269925648256