メタル-シリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究

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Bibliographic Information

Title
"メタル-シリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 下崎敏唯
Publisher
  • [九州工業大学]
Publication Year
  • 1995.3
Book size
30cm
Other Title
  • メタル-シリコン カゴウブツ シリサイド ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル キソ ケンキュウ
  • 平成6年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書

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Notes

研究課題番号: 04650604

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282270106925440
  • NII Book ID
    BA78265528
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [北九州]
  • Data Source
    • CiNii Books
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