著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "下妻, 光夫",低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発,,[北海道大学医療技術短期大学部],1992,科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282270198010368